原创力文档- 3
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- 2023-03-08 发布于四川
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本实用新型公开了一种夹持器，包括操作部及夹持部；所述夹持部分别相对设置在所述第一夹持臂、所述第二夹持臂的末端；其中，所述夹持部包括夹持片，所述夹持片包括夹持片本体及在所述夹持片本体前端边缘处设置的薄片部，所述薄片部的厚度小于所述夹持片本体；当晶圆片放置在平台上的时候，由于薄片部的厚度小于所述夹持片本体的厚度，因此所述薄片部就能容易伸入晶圆片与平台之间的缝隙中，进而将晶圆片从平台上夹起，本且所述夹持片本体对晶圆片有个支撑作用；在此过程中，由于所述夹持器是从晶圆片底部进行夹持的，所述晶圆片夹持在夹持
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213319607 U
(45)授权公告日 2021.06.01
(21)申请号 202022071609.1
(22)申请日 2020.09.18
(73)专利权人 佛山市卓膜科技有限公司
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