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- 2023-03-08 发布于四川
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本实用新型提供了一种压电式麦克风,包括具有背腔的基底和设置在基底上的压电振膜,还包括与所述基底连接并位于所述背腔内用于支撑所述压电振膜的至少一个固定梁。通过在背腔中设置用于支撑固定压电振膜的至少一个固定梁,从而将背腔分隔成多个振动区域,使压电振膜可在每个振动区域内形成有一个或两个振动部,从而可通过调整固定梁的位置以及数量可以调整振动部的长度,在相同芯片面积下使麦克风达到最大信噪比,解决了现有技术中由于在芯片尺寸较大时产生过长膜片导致影响谐振频率,进而影响麦克风的信噪比性能的技术问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213342677 U
(45)授权公告日 2021.06.01
(21)申请号 202022166281.1
(22)申请日 2020.09.27
(73)专利权人 瑞声科技(南京)有限公司
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