用于半导体用石英环平面磨削加工的治具.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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用于半导体用石英环平面磨削加工的治具.pdf

本实用新型属于半导体石英环加工技术领域,具体涉及一种治具。用于半导体用石英环平面磨削加工的治具,包括限位磨床挡块,限位磨床挡块包括外壳和挡块本体;外壳为采用非金属材质制成的外壳,外壳上设有用于容纳挡块本体的通槽,通槽的纵截面为倒T字型结构;挡块本体为采用金属材质制成的挡块本体,挡块本体的底面为平面,挡块本体的表面为磨削面,挡块本体的表面四周设有一圈凹槽,致使挡块本体的纵截面为倒T字型结构;挡块本体嵌设于通槽内,挡块本体的表面与外壳的表面齐平,挡块本体的底面与外壳的底面齐平。本实用新型结构简单,操

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213319224 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022076888.0 (22)申请日 2020.09.21 (73)专利权人 上海菲利华石创科技有限公司

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