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一种适用于碳化硅芯片生产的测试装置.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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一种适用于碳化硅芯片生产的测试装置.pdf

    本实用新型提供一种适用于碳化硅芯片生产的测试装置。所述适用于碳化硅芯片生产的测试装置包括：箱体；单轴电机，所述单轴电机固定安装在箱体的顶部；第一皮带轮，所述第一皮带轮固定安装在单轴电机的输出轴上；多个带动杆，多个带动杆均转动安装在箱体内，多个带动杆的两端均延伸至箱体外；第二皮带轮，所述第二皮带轮固定安装在任意一个带动杆的一端；拉带，所述拉带套设在第一皮带轮和第二皮带轮上；多个带动辊，多个带动辊分别固定套设在多个带动杆上；传送带，所述传送带套设在多个带动辊上。本实用新型提供的适用于碳化硅芯片生产的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213316293 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022284918.7 (22)申请日 2020.10.14 (73)专利权人 济南新芯微电子有限公司

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