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一种带有非厄米耦合角度检测纠正装置的微位移机构.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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一种带有非厄米耦合角度检测纠正装置的微位移机构.pdf

    本实用新型涉及一种带有非厄米耦合角度检测纠正装置的微位移机构，其中刚性底板的上表面固定有衬底，所述衬底上固设有一层绝缘层，所述绝缘层上设置有两组完全相同的硅导线组，所述硅导线组包括若干根相互平行且形状尺寸相同的硅导线，且相邻的硅导线之间距离相等；所述硅导线垂直于所述刚性底板的前后面；所述刚性上板的下表面设置有散射光源；所述散射光源发出的激光照射硅导线组上时，所述硅导线与衬底之间发生近场耦效应，并使得硅导线组中的一根硅导线完全抑制。本实用新型能够同步检测与纠正平行四边形柔性铰链构机构刚性上板在F力

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213301112 U (45)授权公告日 2021.05.28 (21)申请号 202022656108.X (22)申请日 2020.11.17 (73)专利权人 中国科学院上海微系统与信息技

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