一种晶圆加工台.pdfVIP

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2023-03-09 发布于四川
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一种晶圆加工台.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆加工台，包括基座，所述基座上设置有工作台和外框，所述外框可升降地设置在工作台的外周，所述外框与所述工作台之间设置有间隙，所述外框的底部设置有密封胶圈，所述密封胶圈延伸至所述工作台的底部，所述工作台底部外缘沿径向凸出设置有一圈凸台，所述密封胶圈可选择地与所述凸台抵接。本方案提高了膜与外框的贴合度以及膜的平整度，同时，利用真空吸附结合均匀设置在工作台外缘的支撑凸台，减少了去环过程中的力矩，防止晶圆损坏，便于去环。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218585958 U (45)授权公告日 2023.03.07 (21)申请号 202223117617.0 (22)申请日 2022.11.23 (73)专利权人江苏京创先进电子科技有限公司地址