一种新型的特气喷淋管道.pdfVIP

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2023-03-09 发布于四川
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一种新型的特气喷淋管道.pdf

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一种新型的特气喷淋管道，属于板式PECVD设备技术领域。包括设置在PECVD设备石墨框上方的喷气管，喷气管与第一气管、第二气管连通，第一气管、第二气管通过三通接头与总气管连通，喷气管上设置一组喷淋孔，其特征在于喷气管两侧各增设至少一个左侧喷淋孔、至少一个右侧喷淋孔，左侧喷淋孔、右侧喷淋孔分别对应PECVD设备的石墨框两侧喷气。上述一种新型的特气喷淋管道，不仅能使硅片镀膜均匀，而且便于清洗，延长了特气喷淋管道的使用寿命。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213388888 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202021654035.4 (22)申请日 2020.08.11 (73)专利权人杭州海莱德智能科技有限公司