一种晶圆片切割装置的承载台.pdfVIP

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  • 2023-03-10 发布于四川
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本实用新型涉及晶圆片生产技术领域,尤其是一种晶圆片切割装置的承载台,包括安装板,安装板的顶端中部安装有伸缩气缸,伸缩气缸的顶端安装有固定板,固定板的底端位于伸缩气缸的外侧焊接有第一磁铁,安装板的顶端位于伸缩气缸的外侧焊接有第二磁铁,固定板的顶端两两对称开设有通孔,通孔内贯穿有固定杆,固定杆下方的外表面滑动连接有支撑杆,支撑杆的底端焊接在安装板的顶端,支撑杆的顶端开设有与固定杆相配合的滑槽,滑槽的内部底端焊接有弹簧,弹簧的一端焊接在固定杆的底端中部,固定杆的顶端焊接有减震杆,减震杆的顶端焊接有放置

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213424970 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202022304864.6 (22)申请日 2020.10.16 (73)专利权人 苏州百克晶电子科技有限公司

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