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- 2023-03-10 发布于北京
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本实用新型公开了一种用于PLD中可实现与脉冲激光同步的脉冲气路装置，包括真空腔体，所述真空腔体下端一侧连接有连续进气管，所述真空腔体一侧内壁固定设有脉冲进气喷嘴，且所述脉冲进气喷嘴一端正对靶材，所述脉冲进气喷嘴另一端伸出所述真空腔体外且通过法兰固定连接有脉冲进气管，所述脉冲进气管中部安装有气动隔膜阀，所述气动隔膜阀连接气压管，所述气压管中部安装有电动隔膜阀，所述电动隔膜阀与气体激光触发控制盒控制连接。有益效果：实现了在不影响氧化物薄膜正常生长的条件下，对薄膜进行有效的原位氮离子掺杂改性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213416998 U
(45)授权公告日 2021.06.11
(21)申请号 202022222549.9
(22)申请日 2020.10.04
(73)专利权人 谢雪琴
地址 34
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