一种金刚石单晶生长装置.pdfVIP

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  • 2023-03-10 发布于北京
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本实用新型属于金刚石单晶生长技术领域,尤其涉及一种金刚石单晶生长装置,包括箱体,箱体内表面设有加热层,箱体内底端中部设有生长室,生长室外下端缠绕有冷却管,冷却管从上至下依次变密,箱体侧部设有进气口,进气口通过管道连接有进气阀,箱体内上部设有推板,推板顶端连接有推杆,推杆伸出箱体连接有L型连接板,L型连接板靠近推杆端底部设有第一导杆,另一端与进气阀相连接,进气阀套设在管道外侧,进气阀内靠近L型连接板侧设有第二弹簧,另一侧设有第三弹簧,进气阀内中部设有挡板。本实用新型结构简单,操作方便,能够对生长室

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213417071 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202022266144.5 (22)申请日 2020.10.13 (73)专利权人 修武县鑫锐超硬材料有限公司

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