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本实用新型公开了半导体级硅单晶炉,涉及单晶炉技术领域。本实用新型包括炉体、设置在所述炉体的测温口处的玻璃挡盖以及设置在玻璃挡盖处的红外测温仪,还包括:封盖设置在所述炉体顶口处的顶盖以及构造在顶盖上的开口;转动安装在所述开口处的转帽,其内部构造有气腔,并与所述开口连通,所述转帽上构造有出气口。本实用新型通过转帽与顶盖之间的配合使得可以利用热气的产生一定的机械能,从而带着转帽转动,并在传动件的作用下带着刮板转动,从而对玻璃挡盖进行刮拭,从而使得挥发物难以附着在玻璃挡盖上,相比于现有的炉体来说,因此可
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218580132 U
(45)授权公告日 2023.03.07
(21)申请号 202222572677.5
(22)申请日 2022.09.27
(73)专利权人 浙江昱力机电科技有限公司
地址
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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