一种半导体检测用方便使用的椭偏仪.pdfVIP

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  • 2023-03-10 发布于北京
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一种半导体检测用方便使用的椭偏仪.pdf

本实用新型公开了一种半导体检测用方便使用的椭偏仪,包括横板,所述横板顶部的两侧均固定连接有第一壳体,所述横板的底部固定连接有第二壳体,所述横板顶部的两侧均通过轴承活动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套,所述螺纹套相对的一侧固定连接有机体,所述螺纹杆的底部固定连接有第一链轮。本实用新型通过横板、第一壳体、第二壳体、螺纹杆、螺纹套、机体、第一链轮、限位杆、限位套、电机、第二链轮和限位块的配合,实现了拥有高度调节功能的目的,能够根据使用需求调节椭偏仪的使用高度,从而避免给使用者对椭偏仪进行

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213422227 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202022283062.1 (22)申请日 2020.10.14 (73)专利权人 于国斌 地址 51

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