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一种陶瓷球安装装置.pdfVIP

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  • 2023-03-10 发布于北京
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一种陶瓷球安装装置.pdf

    本实用新型提供了一种陶瓷球安装装置，所述陶瓷球安装装置包括壳体、设置于壳体顶部的推杆以及设置于壳体内部的压件；所述壳体的下表面设置有通孔，使所述压件的下表面与陶瓷球接触；所述推杆用于推动压件下压，使陶瓷球压入安装孔。所述陶瓷球安装装置通过控制壳体下表面的壁厚来控制陶瓷球高出安装孔的高度，从而使过盈安装的陶瓷球的露出高度一致，保证了晶圆的冷却效果，进而保证了磁控溅射的镀膜效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213417002 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202022163029.5 (22)申请日 2020.09.27 (73)专利权人 宁波江丰电子材料股份有限公司

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