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2023-03-10 发布于北京
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本实用新型公开一种等离子清洗机，该等离子清洗机包括托料治具循环机构，所述托料治具循环机构包括托料治具、送料模组、回料模组和第一升降装置。托料治具用于放置待清洗的物料，送料模组包括并行且间隔排布的两条送料导轨、以及滑动安装于两条送料导轨上的送料件。两条送料导轨的间隔大于托料治具在两条送料导轨的排布方向上的宽度，送料件呈具有开口的半包围结构并能够定位以及带动托料治具移动。回料模组设于送料模组的两条送料导轨之间且位于送料件的下方，并能够带动托料治具移动。第一升降装置设于回料模组的下方，升降装置能够带动

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213378294 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022166144.8 H01L 21/68 (2006.01)