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- 2023-03-10 发布于北京
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本实用新型公开了一种真空室结构，包括真空室壁、安装板以及水冷外壁，所述真空室壁套设在所述水冷外壁内部，所述安装板设置在所述水冷外壁下部且所述安装板套设在所述真空室壁外壁并将所述真空室壁分为上下两部分，所述真空室壁上部分与水冷外壁形成水套夹层，所述水套夹层用于填充循环冷却水。本实用新型提供了一种新型的真空室结构，以解决现有的真空室结构无法应用于单晶金刚石生长，且操作不便的技术问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213417070 U
(45)授权公告日 2021.06.11
(21)申请号 202021562605.7
(22)申请日 2020.07.31
(73)专利权人 北京清碳科技有限公司
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