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- 2023-03-11 发布于北京
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本实用新型提供了一种基于DOE的聚焦光斑分析的焦斑视觉监测系统，包括激光器、扩束镜、DOE、振镜、场镜、第一反射镜、光线收集器、物镜和CCD相机，在所述激光器前方依次设置扩束镜、DOE、振镜，所述振镜的另一端连接有场镜，所述场镜的前方设置有第一反射镜，所述第一反射镜的透射光路上设有物镜和与镜头连接的CCD相机，反射光路上设有光线收集器。本实用新型有益效果：通过调整物镜的倍率，可以测量任意大小的焦斑，实用性强；极大降低了DOE的安装难度，降低设备调节工作量，改善加工质量；结构简单、性价比高，适合工
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213437784 U
(45)授权公告日 2021.06.15
(21)申请号 202022433973.8
(22)申请日 2020.10.28
(73)专利权人 德中（天津）技术发展股份有限公
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