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- 2023-03-11 发布于四川
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本实用新型公开一种磁控溅射靶挡板装置，包括挡板本体和挡板驱动机构；所述挡板驱动机构包括驱动轴、弹性结构件、滑块和凸轮，所述弹性结构件的一端套接固定于所述驱动轴，所述弹性结构件的另一端连接所述滑块，所述滑块相对连接所述弹性结构件的另一端设置有凸轮，所述凸轮与所述驱动轴同轴固定，所述滑块套接于所述驱动轴、且所述滑块的一侧与所述挡板本体连接为一体，所述滑块与所述凸轮相接的一侧设置有凹槽，所述凹槽的一侧为斜向的导向面，所述凹槽的另一侧为垂直面。本实用新型提供的挡板装置仅由凸轮、滑块等部件构成，具有结构简
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213447284 U
(45)授权公告日 2021.06.15
(21)申请号 202022510040.4
(22)申请日 2020.11.03
(73)专利权人 湖南艾科威智能装备有限公司
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