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- 2023-03-11 发布于四川
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本实用新型公开了一种用于半导体光伏制造的双套管密封装置，包括SUS外管，所述SUS外管的右端固定连接有第一连接块，所述密封块的右端固定连接有第二连接块，所述上锁紧块与下锁紧块的一侧通过转动块相互连接，所述锁紧块的两端固定连接有旋转杆，所述下锁紧块另一侧的下端面开设有限位槽，所述限位槽位于第二安装槽的外侧，所述锁紧块位于限位槽的内部。该用于半导体光伏制造的双套管密封装置，可将SUS外管与PFA内管组成的双套管的一端进行密封，进而确保将双套管内的化学品限定在双套管的内部，以及通过密封槽与密封块的设置
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213452176 U
(45)授权公告日 2021.06.15
(21)申请号 202022408099.2
(22)申请日 2020.10.26
(73)专利权人 阔创实业（上海）有限公司
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