抛光垫刷洗装置和化学机械抛光装置.pdfVIP

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2023-03-12 发布于四川
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本实用新型公开了一种抛光垫刷洗装置和化学机械抛光装置。所述装置包括：毛刷，用以刷洗抛光垫，所述毛刷底部设置有刷毛；刷槽，用以容纳所述毛刷，其中，在所述刷槽底部设置有向上的突起；驱动装置，所述驱动装置驱动所述毛刷在所述刷槽中旋转，在所述旋转过程中所述刷毛与所述突起碰撞而被打开；以及清洗液供给装置，用以向所述刷槽中提供清洗液，以清洗所述毛刷的所述刷毛。根据本实用新型，设置刷槽和驱动装置，对用以刷洗抛光垫的毛刷进行自动清洁，能够对毛刷进行充分、高效的清理，避免了对抛光垫的二次污染，解决了人为手工清洗毛

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213498557 U (45)授权公告日 2021.06.22 (21)申请号 202022134274.3 (22)申请日 2020.09.25 (73)专利权人上海新昇半导体科技有限公司