一种在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置.pdfVIP

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2023-03-12 发布于四川
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一种在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置.pdf

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本实用新型属于带电粒子束检测技术领域，涉及一种在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，包括：薄膜电极、接地紧固环、信号收集电极、三同轴接头和接地电极，薄膜电极通过接地紧固环固定在信号收集电极上，且与信号收集电极紧密贴合，薄膜电极的束流入射面与束流出射面之间绝缘，信号收集电极的信号输出端连接三同轴接头的信号端，接地紧固环通过接地电极连接三同轴接头的接地端。其可以直接在大气环境中使用，无需真空和偏压设备，成本低，体积小，且束流不易泄露，检测结果更加准确。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213482465 U (45)授权公告日 2021.06.18 (21)申请号 202022518550.6 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020