一种激光晶圆切割自动装夹装置.pdfVIP

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2023-03-12 发布于四川
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一种激光晶圆切割自动装夹装置.pdf

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本实用新型公开了一种激光晶圆切割自动装夹装置，包括底座、固定块和滑动块，所述底座上方固定安装有固定块，所述底座内部右侧开设有滑轨槽，且滑轨槽内部滑动连接有滑动块，所述底座右侧一端固定连接有正反转电机，所述滑动块左侧上方固定连接有第二半圆托盘，所述伸缩杆位于气缸外部的一端固定连接有陶瓷吸盘。该激光晶圆切割自动装夹装置，结构设置合理，设置陶瓷吸盘，让晶圆芯片平稳吸附在吸盘上，通过设置激光测距传感器，对陶瓷吸盘上的晶圆芯片进行监测，启动正反转电机，滑动块滑动对晶圆芯片进行装夹，半圆卡槽的设置能让晶圆芯

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213470018 U (45)授权公告日 2021.06.18 (21)申请号 202021901175.7 (22)申请日 2020.09.03 (73)专利权人河南通用智能装备有限公司