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一种集成电路生产用通风系统.pdfVIP

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  • 2023-03-12 发布于四川
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一种集成电路生产用通风系统.pdf

    本实用新型公开了一种集成电路生产用通风系统，所述通风筒左侧固定连接喇叭口右侧，所述通风筒左侧内壁固定连接隔尘网外圈边缘，所述通风筒内靠近中部内壁固定连接电机架两侧，所述电机架中部固定连接电机中部，所述电机左侧固定连接进气风扇中部。该集成电路生产用通风系统，能够在通过电机带动进气风扇将车间内的空气通过通风筒排出的过程中，车间内的空气通过通风筒内的HEPA高效微粒滤网制成的高效滤网和活性炭层时，能够有效的将车间内排出空气中的PM2.5等0.3微米以上的颗粒物和异味进行消除，同时经过紫外灯时能够有效的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213514253 U (45)授权公告日 2021.06.22 (21)申请号 202022174115.6 F24F 13/28 (2006.01)

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