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传感器市场现状分析及发展前景 MEMS（含传感器）行业情况 （一）MEMS技术行业情况 MEMS（全称MicroElectromechanicalSystem）即微机电系统，是一种利用集成电路（IC）制造技术和微结构加工技术把微传感器、微执行器等制造在一块或者多块芯片上的微型集成系统，其尺寸约为几毫米乃至更小，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。MEMS是一个多学科交叉的前沿性研究领域，涉及了物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术。 MEMS技术被誉为21世纪具有革命性的新技术，最早可追溯到1987年美国，当年