一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置.pdfVIP

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2023-03-13 发布于四川
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一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置.pdf

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本实用新型公开了一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置，包括晶圆夹持支架，所述晶圆夹持支架的圆周向等间距设置有多个定位板，所述晶圆夹持支架的内部圆周向等间距设置有多个滑动腔，所述滑动腔的内部设置有推动定位板复位的复位机构。本实用新型结构设计合理，在吸气机构的作用下可将定位板移动，以便于完成晶圆的夹持，同时也能够满足于不同尺寸大小的晶圆夹持，提高了装置的实用性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213546290 U (45)授权公告日 2021.06.25 (21)申请号 202021538848.7 (22)申请日 2020.07.30 (73)专利权人上海图双精密装备有限公司