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一种电动高精度二维载物台.pdfVIP

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  • 2023-03-13 发布于四川
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一种电动高精度二维载物台.pdf

    本实用新型提供了一种电动高精度二维载物台，包括载物台底层模块、载物台中层模块、载物台上层模块，载物台底层模块通过X轴交叉导轨与载物台中层模块连接，所述载物台中层模块通过Y轴交叉导轨与所述载物台上层模块连接，所述载物台底层模块通过X轴进给机构与所述载物台中层模块连接，所述X轴进给机构包括X轴驱动单元和X轴柔性丝杠机构，所述X轴驱动单元与所述X轴柔性丝杠机构连接，所述X轴柔性丝杠机构包括X向丝杠、X轴螺母块、X向推块、X球顶安装连接块、球推杆、球头柱塞。本实用新型的有益效果是：采用柔性连接结构，降低

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213532483 U (45)授权公告日 2021.06.25 (21)申请号 202022195202.X (22)申请日 2020.09.29 (73)专利权人 深圳市中图仪器股份有限公司

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