一种基板减薄装置.pdfVIP

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本实用新型涉及液晶显示技术领域,公开了一种基板减薄装置。所述基板减薄装置包括反应槽、篮具、喷淋组件及供液组件,其中,反应槽内盛装有刻蚀介质,篮具用于将基板支撑为竖直姿态,且篮具容置于反应槽内,基板浸没于所述刻蚀介质,基板的两侧均设置有所述喷淋组件,供液组件与喷淋组件相连通,喷淋组件用于朝其正对的基板喷射液柱,以使基板保持竖直姿态。本实用新型的基板减薄装置,基板在减薄变软后,其两侧的喷淋组件喷射的液柱能够使基板保持平衡,并在水平方向支撑基板,使基板保持竖直姿态以继续减薄到更薄的尺寸;基板的两侧同时

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213506583 U (45)授权公告日 2021.06.22 (21)申请号 202022301624.0 (22)申请日 2020.10.15 (73)专利权人 昆山龙腾光电股份有限公司

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