原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型涉及一种单晶炉用气动控制机构，包括通过连接件气密连接形成气路的气动总成单元和各类单晶炉用气子单元。气动总成单元包括减压阀、油水分离器、气压传感器、多个电磁阀、阀导、电磁阀插排和消音器。工作时，压缩空气流入减压阀减压，经油水分离器过滤后进入第一气路及第二气路，第一气路中的压缩空气经电磁阀控制供应到无阀用气子单元进行相应操作，第二气路中的压缩空气经连通阀进入有阀用气子单元或手动用气子单元进行相应操作。本实用新型将分散的单晶炉气动控制元件集成到气动总成单元，最大限度简化了气路，同时减小了气动
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218596573 U
(45)授权公告日 2023.03.10
(21)申请号 202222571931.X
(22)申请日 2022.09.27
(73)专利权人 浙江精功科技股份有限公司
地址
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
文档评论（0）