原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型属于热处理设备技术领域，公开一种化学气相沉积炉。包括炉壳，炉壳内腔中部位置上下贯穿设置有刚玉管，刚玉管的上下两端分别延伸出炉壳，刚玉管的上端为出气口，刚玉管的下端内部固定套设有气体分散器；炉壳内围绕刚玉管外周一圈串联设有若干个均匀分布的加热棒，串联后的加热棒引出一条电源线至炉壳外；炉壳内加热棒外周设有保温罩，保温罩底面固定在炉壳底壁上，保温罩四周侧壁与加热棒之间间隔有距离，保温罩四周侧壁与炉壳之间设置有隔热填充物。本实用新型炉内气体流动均匀，减少沉积区的热量散失，沉积效率高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213538095 U
(45)授权公告日 2021.06.25
(21)申请号 202021942100.3
(22)申请日 2020.09.08
(73)专利权人 巩义市泛锐熠辉复合材料有限公
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
文档评论（0）