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一种激光等离子体极紫外光源系统.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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一种激光等离子体极紫外光源系统.pdf

    一种激光等离子体极紫外光源系统，包括：真空腔；液滴产生器，与所述真空腔适配；所述真空腔具有气氛输入口，所述系统还包括：等离子体产生模块，与所述气氛输入口耦接，所述等离子体产生模块用于产生等离子体，并经由所述气氛输入口将所述等离子体传输至所述真空腔内。通过本实用新型方案既能够提高LPP‑EUV光源系统的输出功率能力，又能够抑制系统内的碎屑污染从而提高系统的运行稳定性，延长使用寿命。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213581733 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022468316.7 (22)申请日 2020.10.30 (73)专利权人 全芯智造技术有限公司

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