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曝光用透明光罩和曝光设备.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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曝光用透明光罩和曝光设备.pdf

    本实用新型公开了一种曝光用透明光罩和曝光设备，曝光用透明光罩包括：光罩本体，所述光罩本体内设置有冷却腔，所述冷却腔内流动有气态或液态的冷却介质，所述光罩本体上还设置有与所述冷却腔连通的进口和出口。通过在光罩本体内设置冷却腔，并且通过冷却腔内流经的冷却介质，从而可以使透明光罩温度的变化小，如此不会引起透明光罩尺寸的变化，进而不会造成曝光图案的失真。并且，透明光罩温度的变化小，从而不会将热量传导给基板，也不会使基板产生更大的变形，进而可以避免曝光后的产品尺寸的失真以及产品的质量不稳定。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213581730 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022142234.3 (22)申请日 2020.09.25 (73)专利权人 南昌欧菲显示科技有限公司

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