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- 2023-03-14 发布于四川
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本公开提供一种晶圆表面金属离子采集装置，包括：底座；载台；使扫描液在晶圆表面滚动，以收集晶圆表面金属离子的扫描机构；控制扫描机构运动的扫描臂；控制扫描臂在底座上进行三维运动的运动机构；控制载台、扫描机构及运动机构的工作状态的控制单元；扫描机构包括至少两个采集器，不同的采集器具有相同或不同数量扫描喷嘴，至少两个采集器以不同组合方式设置于扫描臂上，不同组合方式包括：至少两个具有相同数量扫描喷嘴的采集器进行组合、或至少两个具有不同数量扫描喷嘴的采集器进行组合。本公开晶圆表面金属离子采集装置可实现多种扫
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213546269 U
(45)授权公告日 2021.06.25
(21)申请号 202023059989.3
(22)申请日 2020.12.17
(73)专利权人 西安奕斯伟硅片技术有限公司
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