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可翻转承载装置.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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可翻转承载装置.pdf

    本发明涉及超高真空成膜设备技术领域，具体为一种可翻转承载装置，该装置包括行星基片架、旋转机构和翻转机构，旋转机构设置在行星基片架上表面，旋转机构的垂直转轴设置于行星基片架中央，垂直转轴上端与伺服电机的转子联动，转子与垂直转轴间设置有电磁离合器；垂直转轴下端与扇形旋转架的圆心角处连接；扇形旋转架弧面上设置轮齿；翻转机构设置在行星基片架开孔处，翻转机构的固定夹为环形，固定夹上设置用于锁定基片的夹具；固定夹两侧设置翻转转轴，行星基片架开孔处设置对应的轴承，一侧翻转转轴上设置翻转齿轮，所述翻转齿轮与扇形

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213570715 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022159569.6 (22)申请日 2020.09.27 (73)专利权人 云

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