一种晶体制备快速退火炉.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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本实用新型公开了一种晶体制备快速退火炉,所述炉身的顶部开设有环形保温槽,所述环形保温槽内壁上固定装配有外层保护砖,四组所述导热柱的顶端固定装配有内层保温碳化硅板,所述加热底板内均布有圆盘形缠绕加热炉管,且所述保温水管的外壁上套接装配有套环,且所述套环的侧壁上固定有固定装配在导热柱外壁上的安装块,所述限位板由内到外依次装配有缠绕装配在内层保温碳化硅板外壁外侧的第一圆柱形缠绕加热炉管、第二圆柱形缠绕加热炉管和第三圆柱形缠绕加热炉管,使得晶体各向性能在径向以及高度方向上的差异大幅度减小,防止温度消散太

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213570827 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022200340.2 (22)申请日 2020.09.29 (73)专利权人 云南全控机电有限公司

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