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一种单晶硅研磨承载器.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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一种单晶硅研磨承载器.pdf

    本实用新型提供一种单晶硅研磨承载器，涉及研磨技术领域，包括承载器主体，所述承载器主体下方设置有用于支撑的支撑台，且支撑台侧壁连接有两组固定板，两组所述固定板之间轴承连接有连接杆，且连接杆外壁连接有连接柱，所述连接柱上下两侧对称设置有两组承载件，且承载器主体内部开设有匹配于承载件的凹口，其中一组承载件插设于凹口内部，所述连接杆前侧设置有固定组件。本实用新型设置有两组承载件和凹口，通过连接柱以连接杆为轴转动，即可使得两组承载件相互更换对凹口进行填充，通过更换不同的承载件来对单晶硅的研磨进行加速，无需

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218590730 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202222219405.7 (22)申请日 2022.08.23 (73)专利权人 扬州晶樱光电科技有限公司 地址

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