1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种接地环及等离子体处理装置.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.13万字
  • 约 12页
  • 2023-03-14 发布于四川
  • 举报

一种接地环及等离子体处理装置.pdf

    本实用新型提供了一种接地环及等离子体处理装置，在接地环上设置连接体，通过调节连接体个数和/或更换不同宽度的连接体和/或调节所述连接体的可分离连接的端部与环体之间的间隙宽度，改善了射频分布，有效的保证了刻蚀速率的均匀性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213546262 U (45)授权公告日 2021.06.25 (21)申请号 202023151683.0 (22)申请日 2020.12.24 (73)专利权人 中微半导体设备（上海）股份有限

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >