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清洗介质注入装置和气相沉积装置.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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清洗介质注入装置和气相沉积装置.pdf

    本实用新型提供了一种清洗介质注入装置和气相沉积装置，其中，清洗介质注入装置包括：第一管道，第一管道用于输送清洗介质；第二管道，连通于第一管道；冷却组件，冷却组件套设在第一管道上。本实用新型提供的清洗介质注入装置，通过第二管道连通于第一管道清洗气体输送路径与工艺气体的输送路径一致，能够对镀膜残留物起到更好地清洗效果，能够缩短清洗时间；通过在第一管道上套设冷却组件，能够对经由第一管道排出的清洗气体进行降温，避免了高温对清洗效果的影响，更近一步地提高了清洗效果和清洗效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213570724 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022461476.9 (22)申请日 2020.10.29 (73)专利权人 常州捷佳创精密机械有限公司

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