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一种用于化学机械研磨的清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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一种用于化学机械研磨的清洗装置.pdf

    本实用新型公开了一种用于化学机械研磨的清洗装置，包括：清洗液管道；第一电极，位于所述清洗液管道上；第二电极，位于所述清洗液管道上；负电压源，与所述第一电极和所述第二电极连接；固定结构，用于将所述第一电极和所述第二电极固定在所述清洗液管道上；其中，所述第一电极和所述第二电极分别位于所述清洗液管道的两侧，所述负电压源存储有负电荷，所述负电压源使所述清洗管道内部的清洗液呈负电势。本实用新型大幅度提高了晶圆表面颗粒和清洗液本身的去除效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213558800 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202021794843.0 (22)申请日 2020.08.25 (73)专利权人 合肥晶合集成电路股份有限公司

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