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一种使用罗茨真空泵的串并联模块式真空系统.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于北京
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一种使用罗茨真空泵的串并联模块式真空系统.pdf

    本实用新型公开了一种使用罗茨真空泵的串并联模块式真空系统，包括一二级罗茨真空泵组、旁通管路、第四级罗茨真空泵、并联旁通气动阀、第一三通切换阀和第五级真空泵；一二级罗茨真空泵组和旁通管路并联，其进气口与主管道连接，出气口分别于第四级罗茨真空泵和并联旁通气动阀连接，旁通管路上安装有旁通调节阀；第一三通切换阀的第一端口与第四级罗茨真空泵的排气口连接，第一三通切换阀的第二端口和并联旁通气动阀的出气口均与第五级真空泵的进气口连接，第一三通切换阀的第三端口与第五级真空泵的排气口均与排气管连接；本申请不仅减少

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213574607 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022411646.2 F04C 28/24 (2006.01)

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