一种高质量的等离子反应腔室.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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本实用新型提供一种高质量的等离子反应腔室,包括燃烧筒、电浆头法兰、水幕法兰以及等离子火焰发生器,所述等离子火焰发生器固定安装在所述电浆头法兰的顶端,所述水幕法兰固定安装在所述电浆头法兰的底端,所述水幕法兰固定安装在所述燃烧筒的顶端,所述燃烧筒包括燃烧筒外筒和燃烧筒内筒,所述电浆头法兰上沿周向设有若干进气管,所述等离子火焰发生器至所述燃烧筒之间设有废气通道。本等离子反应腔室采用等离子处理废气,因为等离子体产生的火焰温度比较高,故采用水冷的方式冷却腔室,且各部分密封,保证不会发生废气泄漏,腔室各表面

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213577560 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022018820.7 (22)申请日 2020.09.16 (73)专利权人 杭州海莱德智能科技有限公司

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