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一种碳化硅托盘清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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一种碳化硅托盘清洗装置.pdf

    本实用新型提供一种碳化硅托盘清洗装置，该碳化硅托盘清洗装置包括用于固定待清洗件的清洗篮以及设于清洗池底部的气管组件，清洗篮包括分别与清洗池两端抵靠的侧板和分别与两个侧板连接的限位组件，限位组件用于固定待清洗件，气管组件包括围绕清洗池内壁设置的主管路和与主管路连通的分支管路，主管路向外延伸有与供气组件连通的导气管，分支管路上设有出气孔，主管路和分支管路围合形成用于放置所述侧板的容置空间，以当清洗篮置于所述清洗池内时，出气孔正对所述待清洗件。清洗装置包括上述碳化硅托盘清洗装置。本实用新型中的碳化硅托

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218591302 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202221885950.3 (22)申请日 2022.07.21 (73)专利权人 江西兆驰半导体有限公司 地址 3

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