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一种带有清理功能的半导体加工用固定装置.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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一种带有清理功能的半导体加工用固定装置.pdf

    本实用新型公开了一种带有清理功能的半导体加工用固定装置，属于半导体技术领域，包括底壳、顶壳、控制机构和清理机构，所述底壳的上表面开设有凹槽，凹槽内设置有两个滑块，滑块内部开设有螺纹孔，螺纹孔内螺纹连接有螺纹柱，两个螺纹柱的相对端相互固定连接。本实用新型中，通过设置驱动机构和清理机构，驱动机构工作时可以控制清理机构进行工作，而清理机构设置在半导体上方的顶壳内，因此清理机构可以对半导体上的粉屑进行清理，通过设置控制机构，控制机构可以对顶壳进行控制，从而可以调节清理机构的位置，从而使得清理机构可以对半

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213558647 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022104621.8 (22)申请日 2020.09.23 (73)专利权人 海

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