一种3D电池后盖真空镀膜装置.pdfVIP

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2023-03-15 发布于北京
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一种3D电池后盖真空镀膜装置.pdf

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本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其是一种3D电池后盖真空镀膜装置，它包括装置本体，所述装置本体的内部通过隔板形成第一容置腔和第二容置腔，所述装置本体的内底部固定安装有电动滑台，所述电动滑台的顶面通过滑块固定安装有负极板，所述负极板的顶面固定安装有靶材，所述第一容置腔的内顶部固定安装有第一安装壳，所述第一安装壳的内部固定安装有第一旋转电机，所述第一旋转电机的转轴端连通第一安装壳固定连接有第一正极板，本实用新型通过采用连续磁控溅射方式镀膜，能在真空环境中磁控溅射一次性镀好，有利于保证连续生产时成品

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213596386 U (45)授权公告日 2021.07.02 (21)申请号 202021861813.7 (22)申请日 2020.08.31 (73)专利权人东莞市聚龙高科电子技术有限公