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本实用新型提供了一种具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机，属于镀膜设备技术领域。它解决了现有真空镀膜机性能差等问题。本具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机，包括外机壳，外机壳内具有中空的内腔，内腔中设置有磁控溅射机构以及可横向移动的置放机构，置放机构设置于磁控溅射机构的下部，置放机构与外机壳的底部之间形成有冷却室，冷却室内设置有可上下移动的移动板，移动板上端设有用于置放机构固定以及加快置放机构上废料冷却的凸块结构。本实用新型具有性能稳定的优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213624344 U
(45)授权公告日 2021.07.06
(21)申请号 202022008258.X
(22)申请日 2020.09.14
(73)专利权人 温岭市华航电子科技有限公司
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