一种用于CVD涂层设备用的冷凝阱.pdfVIP

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2023-03-17 发布于北京
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一种用于CVD涂层设备用的冷凝阱.pdf

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本实用新型公开了一种用于CVD涂层设备用的冷凝阱，包括筒体、冷阱门和S型水道板，筒体后端焊接有筒体后封板，筒体后封板上设有三组S型水道板进水管和S型水道板出水管，筒体后封板上焊接有进气管和出气管，冷阱门一端通过铰链机构固定连接在法兰上，冷阱门通过活节螺栓紧固在法兰上，通过设置环形水道和三层S型水道板提供了足够的冷凝面积，利用三层S型水道板中的内腔导流块使冷却水形成S型路径，使装置内部具有较低的温度，利用导流隔板和三层S型水道板的设计使得可凝性蒸汽在冷凝阱内部沿着“S”型路径通过装置，增加了可凝性

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213643166 U (45)授权公告日 2021.07.09 (21)申请号 202022180510.5 (22)申请日 2020.09.28 (73)专利权人常州艾恩希纳米镀膜科技有限公