聚焦离子束加工单晶金刚石的亚表层损伤研究_鹿玲.pdf

39 5 Vol. 39 No. 5 第 卷第 期 燕山大学学报 2015 9 Journal of Yanshan University Sept． 2015 年 月 文章编号:1007-791X (2015)05-0420-05 聚焦离子束加工单晶金刚石的亚表层损伤研究 1，* 1 2 ， ， 鹿 玲 靳田野 陈俊云 (1． ， 066004 ;2 ． ， 066004) 燕山大学机械工程学院 河北秦皇岛 燕山大学车辆工程与能源学院 河北秦皇岛 : (FIB) ， 摘 要 为保证聚焦离子束 制造微细零部件或微刀具等的加工表面使用性能和使用寿命 研究了使用 FIB 。 FIB 技术加工单晶金刚石超硬材料的亚表层损伤 从粒子碰撞和能量交换两种角度分析了 加工亚表层损 ， SＲIM FIB ， FIB 伤的形成原理 利用 软件模拟了 加工单晶金刚石的离子轰击过程 确定了 亚表层损伤区域横截 ， 。 ， FIB ， 面半径 以及亚表层损伤深度 研究表明 理论上 加工金刚石靶材 其亚表层损伤截面半径不超过微米级 2% ， 1% 。 零部件特征尺寸的 损伤深度不超过 :FIB ; ; ;SＲIM 关键词 亚表层损伤 金刚石 中图分类号:TH161 文献标识码:A DOI :10 ． 3969 / j ． issn． 1007-791X． 2015 ． 05 ． 006 ， 来说 这种极小的亚表层损伤相对于其特征尺寸 0 引言 也有可能较为严重，并对其使用性能造成影响。 ， 近年来，FIB 加工技术被广泛应用于微纳米零 所以 本文针对应用于制备微刀具的常用超硬材 料， FIB 从理论上对 加工后材料亚表层损伤范围 、 、 、 部件制造 精密仪器关键元件加工 微刀具制造 ［1-3］ 进行分析，以对超硬材料微刀具的制备提供理论 ， 材料检测样品制备和生物工程领域的研究 它 指导。 、 可以在纳米尺度实现离子刻蚀 离子注入和离子 减薄等功能，也能够实现对微小元器件的精细修