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前道量检测设备市场规模 前道量检测设备市场规模 前道量检测设备作为半导体设备市场的重要组成，其市场规模在半导体设备中仅次于薄膜沉积设备、光刻机、刻蚀设备。据SEMI数据统计，前道量检测设备约占半导体设备市场规模的13%。 近年来，全球前道量检测设备市场呈现稳步增长。根据VLSIResearch、QYR数据，2016年至2020年，全球前道量检测设备市场规模由2016年的47．6亿美元增长至2020年的76．5亿美元，年复合增长率12．59%。同时，得益于半导体行业的繁荣发展，中国大陆前道量检测市场规模快速增长，由2016年的7．0亿美元增长至2020年的21．0亿美元，年复合增长率达到31．6