一种用于过滤器的滤芯更换系统.pdfVIP

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2023-03-17 发布于北京
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一种用于过滤器的滤芯更换系统.pdf

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本实用新型公开了一种用于过滤器的滤芯更换系统，包括抽真空系统、惰性气体供应系统、以及尾气处理系统，过滤器的顶部、底部均与所述抽真空系统连接；所述惰性气体供应系统与所述过滤器的底部连接；所述过滤器的顶部、底部均与所述尾气处理系统连接。在更换滤芯时，可以先用抽真空系统系统抽走残留的电子气体，然后用惰性气体供应系统置换过滤器内的残留的电子气体，防止电子气体(或其形成的腐蚀性液体)因腐蚀管道而带来的安全风险和产品质量事故；再然后，再次用抽真空系统系统抽走惰性气体和可能残留的电子气体，从而保证管道内肯定不

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213668325 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202022133482.1 (22)申请日 2020.09.25 (73)专利权人金宏气体电子材料（淮安）有限责