一种电注入过程中温度稳定控制系统.pdfVIP

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2023-03-17 发布于北京
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一种电注入过程中温度稳定控制系统.pdf

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本实用新型涉及一种电注入过程中温度稳定控制系统，包括主控制器、温控器、恒流源系统和注电腔体，所述恒流源系统用于输出电流至注电腔体为注电腔体提供注电电流，注电腔体用于对待注电硅片进行注电并采集温度信息发送给温控器，温控器用于接收来自注电腔体采集的温度信息发送给主控制器，主控制器用于根据注电腔体采集的温度信息控制恒流源系统的输出电流。本实用新型在温度闭环控制的基础上，通过系统自调整方式解决现有电注入工艺设备中温度波动较大对产品影响的问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213690349 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202021962395.0 (22)申请日 2020.09.10 (73)专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司