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- 2023-03-17 发布于四川
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本实用新型涉及一种纯水恒温控制系统，包含热交换器、冷热水回路和工作用水回路，热交换器具有调温侧和循环侧，冷热水回路与热交换器的调温侧配合，工作用水回路与热交换器的循环侧配合；冷热水回路包含冷水进水管路、热水进水管路、冷水回水管路和热水回水管路；工作用水回路包含工作设备、储水箱和水泵；本方案在工作用水回路的末端增加热交换器，对冷热水回路与工作用水回路进行热交换，通过控制冷热水回路的流量可以降低工作用水的温度波动，在一定范围内实现纯水恒温，以保证生产设备正常工作；冷热水回路可以使用厂务端现有冷水和热
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213688019 U
(45)授权公告日 2021.07.13
(21)申请号 202022422398.1
(22)申请日 2020.10.27
(73)专利权人 太极半导体（苏州）有限公司
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