原创力文档- 9
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- 2023-03-18 发布于四川
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本实用新型提供一种薄膜体声波谐振器及无线通信装置，该薄膜体声波谐振器包括；衬底，衬底一侧设置有凹槽；支撑层，支撑层设置在凹槽开口一侧，覆盖衬底未设置凹槽的区域；底电极，设置在凹槽开口一侧，底电极朝向凹槽一侧与凹槽两侧的支撑层连接，压电薄膜、顶电极依次叠置于底电极远离凹槽一侧。本实用新型结构简单、稳定，外界应力不易传递到谐振器，不容易出现频偏，能够有效减小外界应力对声波谐振器频率的影响，同时降低了薄膜体声波谐振器的制造工艺，减少了资源和时间的消耗，降低了生产成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213717943 U
(45)授权公告日 2021.07.16
(21)申请号 202020921700.5
(22)申请日 2020.05.27
(73)专利权人 广州市艾佛光通科技有限公司
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